SIOS Meßtechnik GmbH
Am Vogelherd 46
98693 Ilmenau
Phone: +49 3677 64470
Fax: +49 3677 64478
sales@sios.de
www.sios.de
AP: Dr. Walter Schott
 
Produktprogramm
Hochgenaue Laserinterferometrische Messsysteme zur Längen-, Winkel- und Schwingungsmessung: Miniatur-
interferometer mit Retro- und Planspiegelreflektor, Zwei- und Dreistrahlinterferometer, Laserinterferometrische
Vibrometer, Messtaster und Kalibriersysteme, Nanopositionier- und Nanomessmaschinen, Stabilisierte He-Ne-
Laser, Komparatorwägetechnik.


Range of Products
Precision laserinterferometric measuring systems for use in nanometrology that measure lengths, angles und
vibrations with ultrahigh resolution in a wide measuring range: Miniature retroreflector and plane-mirror inter-
ferometers, double- and triple-beam interferometers, laserinterferometric vibrometers, gauging probes and
calibration systems, nanopositioning and nanomeasuring machines, stabilized HeNe-Lasers, comparator scales.