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MIKRO-NANO-INTEGRATION


Fachartikel    2018 | 2017 | 2016 | 2015 | 2014 |



Mikrotechnikbranche stellt ein – positive Trends
der letzten Jahre setzen sich fort


SENSOR MAGAZIN 2/Juni 2018

Positive Entwicklungen der europäischen Mikrotechnikbranche, die sich in den Vorjahren
abzeichneten, setzen sich in diesem Jahr, zum Teil verstärkt, fort. Dies hat die diesjährige
Datenerhebung des IVAM Fachverband für Mikrotechnik bestätigt. Dazu zählen ein fortgese-
tzter Aufwärtstrend bei Mitarbeiterzahlen und Umsätzen sowie ausgesprochen gute Prog-
nosen in beiden Bereichen für die kommenden drei Jahre.
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Vom Drucken zum Drehen mit Mikromaterialien

SENSOR MAGAZIN 1/März 2018

Mit 3D-Druckern für den Mikrobereich ist es Forschern des Karlsruher Instituts für Techno-
logie (KIT) gelungen, ein Metamaterial aus würfelförmigen Bausteinen zu schaffen, das auf
Druckkräfte mit einer Rotation antwortet. Üblicherweise gelingt dies nur mithilfe einer Über-
setzung, wie zum Beispiel einer Kurbelwelle. Das ausgeklügelte Design aus Streben und
Ringstrukturen, sowie die zu Grunde liegende Mathematik stellen die Wissenschaftler in
der aktuellen Ausgabe der renommierten Fachzeitschrift »Science« vor.
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Wirkungsgradrekorde für Solarzellen von morgen

SENSOR MAGAZIN 4/November 2017

Die Zusammenarbeit von Forschern des schweizer CSEM, der EPFL und des US NREL
verbessert gleich zwei Wirkungsgrad-Weltrekorde für Silizium-basierte Tandemsolarzellen
auf 32,8 % und 35,9 %.
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Mikro-Nano-Integration: Weiterbildung leicht gemacht

SENSOR MAGAZIN 3/September 2017

Die Komplexität von Produkten steigt in allen Branchen und gleichzeitig verkürzen sich die
Innovationszyklen. Man geht von einer Verdoppelung des Wissens innerhalb von fünf Jahren
aus. Nach Schätzungen ging man im 18. Jahrhundert noch von hundert Jahren für eine Ver-
doppelung aus.
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Ultra-kleine Feuchtesensoren für Consumer-Anwendungen

SENSOR MAGAZIN 2/Mai 2017

Die Entwicklung der Mikroelektronik hat die moderne Gesellschaft in den vergangenen Jahr
zehnten so stark beeinflusst, wie kaum eine andere Technologie. Der Fortschritt in der
Elektronik hat dafür gesorgt, dass heutzutage Rechenleistung sowie drahtlose Kommunika-
tion günstig und dadurch allgegenwärtig verfügbar sind. Sollen Informationen über Umwelt-
bedingungen verarbeitet und kommuniziert werden, sind allerdings Sensoren notwendig,
die diese Daten erfassen. In diesem Bereich werden inzwischen Technologien aus der
Mikroelektronik eingesetzt. Im Ergebnis werden Sensoren kleiner, leistungsfähiger,
verbrauchen weniger Energie und werden zudem noch günstiger.
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Ultradünnes Glas als Substrat für Sensoren mit mikromechanischer Funktion

SENSOR MAGAZIN 1/März 2017

Hersteller von Sensoren und Mikrochips stehen vor der andauernden Herausforderung, eine
wachsende Anzahl von aktiven Bauteilen in immer kleinere Formen zu bringen. Dies gilt
ebenso für mikroelektromechanische Systeme, auch MEMS. Diese miniaturisierten Geräte
bestehen üblicherweise aus mechanisch beweglichen Teilen, einer Steuerungselektronik
sowie mehreren Sensoren, die auf einem Substrat platziert werden. In der Regel kommt
Silizium als Trägerstoff zum Einsatz, oftmals Hightech-Polymere als Verbundstoff. Nun
hat Silizium sehr viele herausragende Eigenschaften, die nur schwer durch andere Werk-
stoffe ersetzt werden können. Und doch gibt es Möglichkeiten, hier auf preisgünstige
Alternativen zu setzen.
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Erstes System zur kostengünstigen Vor-Ort-Überwachung

SENSOR MAGAZIN 5/November 2016

Das Fraunhofer ICT-IMM entwickelte im Auftrag und in Kooperation mit dem Industriekonsortium
SASforREACH einen Aufbau zur Streulichtanalyse, der es Auftragslaboratorien ermöglicht, mit
geringem personellem und finanziellem Aufwand kleinste nanopartikuläre Fraktionen in wässrigen
Lösungen aufzuspüren.
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Kunststoffe Schicht für Schicht in Form bringen

SENSOR MAGAZIN 2/Mai 2016

Die meisten bahnbrechenden Technologien basieren auf einer einfachen und überzeugenden Idee.
Das gilt auch für Methoden zur werkzeuglosen Herstellung von Bauteilen mit dem Arbeitstitel
»Additive Manufacturing«.
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Mikromotoren helfen trägen Spermien

SENSOR MAGAZIN 1/März 2016

Wissenschaftler des Leibniz-Instituts für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden – kurz
IFW Dresden – veröffentlichten im ACS Journal Nano Letters spektakuläre Ergebnisse zum
Thema männlicher Unfruchtbarkeit.
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Nanodraht-Kontakte bieten neue Möglichkeiten für Aufbau- und Verbindungstechnik

SENSOR MAGAZIN 4/November 2015

In der Mikroelektronik geht der Trend dahin, in einem Gehäuse eine Vielzahl von Chips zu stapeln.
Während die Elektronik selbst immer leistungsfähiger wird, werden zum elektrischen Verbinden
der Chips seit Jahrzehnten dieselben Technologien, Bonden, Löten und Kleben, verwendet.
Um mit der Entwicklung mithalten zu können, bedarf es dringend neuer Verbindungstechnologien,
die in der Lage sind, tausende Kontakte auf kleinstem Raum bei hoher Festigkeit und exzellenter
Leitfähigkeit zu realisieren.
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Printable/Flexible Sensors: Valuable Additions to the Designer's Toolkit

SENSOR MAGAZIN 3/September 2015

Printed/flexible (P/F) sensors have been commercially available since 1985 with the introduction
of Interlink Electronics Force Sensing Resistor (FSR)® technology. Most recently, driven by the
popularity of wearable and Internet of Things (IoT) applications, P/F sensors have seen a signi-
ficant increase in interest from potential suppliers who wish to exploit these rapidly emerging
opportunities. This article will address several of the currently available P/F sensors, their
applications, manufacturing process and technologies in addition to the work currently being
conducted in university and industrial research laboratories and institutes worldwide.
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Gasströmungssensoren mit CMOSens®-Technologie

SENSOR MAGAZIN 1/März 2015

Seit über 30 Jahren ist die thermische Massenflussmessung mit Drahtwicklungen um eine kleine
Stahlkapillare der Standard in der genauen Messung und Dosierung von Gasflüssen. Die neue
CMOSens®-Technologie von Sensirion nimmt das zugrundeliegende erfolgreiche physikalische
Messprinzip auf und integriert einen miniaturisierten Sensor zusammen mit der gesamten hoch-
präzisen Auswerteschaltung auf einem einzigen CMOS Mikrochip. Im Zusammenspiel mit einem
speziell entwickelten Sensor-Packaging entsteht so zu tieferen Kosten ein System, das mit einer
höheren Regelgeschwindigkeit und einer deutlich höheren Genauigkeit einen eigentlichen Quanten-
sprung in der Massenflussmessung darstellt.
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Tronics produziert erste 6-DOF MEMS Inertialsensoren
mit piezoresistiven Nanodrähten


SENSOR MAGAZIN 4/September 2014

Tronics gibt die erfolgreiche Herstellung der ersten Single-Chip 6-DOF-MEMS-Sensoren mithilfe
einer neuartigen Technologie auf der Basis von piezoresistiven Nanodrähten bekannt. Dies ist ein
wichtiger Schritt hin zur Serienproduktion von 6 DOF- und 9 DOF Sensoren.
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Monolithischer Durchflusssensor für Gase und Flüssigkeiten

SENSOR MAGAZIN 2/Mai 2014

Durchflusssensoren zur Messung von Volumen- und Massenströmen von Gasen und Flüssig-
keiten werden in einer Vielzahl von Anwendungen im industriellen Bereich, aber beispielsweise
auch in der Medizintechnik benötigt. Ein möglichst universell verwendbarer Sensor muss daher
unterschiedlichste Forderungen erfüllen: Zum einen sollte er in einem weiten Temperatur- und
Messbereich einsetzbar und widerstandsfähig gegenüber Abrieb und aggressiven Medien sein,
zum anderen erfordert der flexible Einbau in verschiedenste Apparaturen oft eine extreme
Miniaturisierung.
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Kleben wie ein Gecko: Selbstreinigend und haftsicher

SENSOR MAGAZIN 1/März 2014

Geckos haben Klebestreifen eines voraus: Selbst nach wiederholtem Kontakt mit Schmutz
und Staub kleben ihre Füße noch auf glatten Flächen einwandfrei. Forscher des KIT und der
Carnegie Mellon Universität in Pittsburgh haben nun den ersten Klebstreifen entwickelt, der
nicht nur genauso haftsicher ist wie ein Geckofuß, sondern auch über einen vergleichbaren
Selbstreinigungsmechanismus verfügt. Damit ließen sich beispielsweise Lebensmittelver-
packungen oder Verbände mehrfach öffnen und sicher wieder verschließen.
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